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发明名称
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申请公布号 JPH0629809(B2) 申请公布日期 1994.04.20
申请号 JP19870046733 申请日期 1987.03.03
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 KATANO TOMONORI
分类号 G01L1/18;B25J19/02;G01L5/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L5/00 主分类号 G01L1/18
代理机构 代理人
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