Method of making a homogeneous silicon nitride sintered body having a high density.

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Drucksintern von Siliziumnitrid, bei dem Siliziumnitridpulver mit Sinteradditiven vermischt, zu Bauteilen verformt und dann nach einem Zweistufensinterprogramm dichtgesintert werden, wobei die Druckerhöhung des Stickstoffdruckes bei einer Dichte von > 95% der theoretisch erreichbaren Maximaldichte (Dth) auf einen Maximaldruck im Bereich von 1,7 bis 100 MPa erfolgt.Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren soll der Stickstoffdruck zum Zeitpunkt des Erreichens von 85% von Dth im Bereich von 0,1 bis 0,3 des Maximaldruckes und zum Zeitpunkt des Erreichens von 93% von Dth im Bereich von 0,2 bis 0,4 des Maximaldruckes eingestellt werden. Die aktuelle Dichte der Bauteile innerhalb des Drucksinterofens, erfolgt durch Berechnung des Wertes der Schwindung in % von Dth nach folgender Formel: <IMAGE> mit [Δl/Lo]x = Lineare Schwindung bis zum Erreichen von x der theoretischen Dichte, Dg = Ausgangsdichte der Sinterproben Dth = theoretisch erreichbare Maximaldichte x = % der theoretisch erreichbaren Maximaldichte, die aktuell erreicht werden sollen. <IMAGE>