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发明名称 Electrostatic multipole lens for charged-particle beam
摘要
申请公布号 GB2238904(B) 申请公布日期 1994.04.20
申请号 GB19900025085 申请日期 1990.11.19
申请人 * JEOL LTD 发明人 MORIO * ISHIHARA
分类号 H01J49/22;H01J49/28;H01J49/42;(IPC1-7):H01J49/06 主分类号 H01J49/22
代理机构 代理人
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