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发明名称
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申请公布号 JPH0630237(B2) 申请公布日期 1994.04.20
申请号 JP19840187900 申请日期 1984.09.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 TOKIKUCHI KATSUMI;OKADA OSAMI;SAKUMICHI KUNYUKI;KOIKE HIDEMI
分类号 G21K5/10;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 G21K5/10
代理机构 代理人
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