发明名称 一种硅的光探测器件
摘要 本实用新型公开了一种紫外增强的p-n结硅光生伏特探测器的结构。它在探测器探光面的金属电极之间或(和)其四周的硅表面上布设一层多孔硅的荧光膜。该结构具有工艺过程简单易控、成本低廉、并能与现有集成电路工艺相容等诸多优点。
申请公布号 CN2162712Y 申请公布日期 1994.04.20
申请号 CN93217410.8 申请日期 1993.07.02
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 夏永伟;李国花;滕学公;樊志军
分类号 H01L31/10 主分类号 H01L31/10
代理机构 北京林业大学专利事务所 代理人 卢纪
主权项 1、一种紫外增强的硅p-n结光生伏特探测器件,其特征为,在硅p-n结光生伏特探测器的探光面金属上电极之间或(和)其四周的硅表面上布设有一层多孔硅的荧光膜。
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