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发明名称
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申请公布号 JPH0630351(B2) 申请公布日期 1994.04.20
申请号 JP19870078505 申请日期 1987.03.31
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 MASE KOICHI;ABE MASAYASU;HIRATA OSAMU
分类号 H01L21/66;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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