| 发明名称 |
CLEANING OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE AND THE LIKE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06106480(A) |
申请公布日期 |
1994.04.19 |
| 申请号 |
JP19920283653 |
申请日期 |
1992.09.28 |
| 申请人 |
NEOS CO LTD |
发明人 |
SUZUKI NORIO;SAMEJIMA TEIICHIRO |
| 分类号 |
B08B7/04;B24C1/00;B24C11/00;C23C14/00;C23C14/22;(IPC1-7):B24C1/00 |
主分类号 |
B08B7/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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