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经营范围
发明名称
MEASURING APPARATUS FOR STAGE POSITION
摘要
申请公布号
JPH06109417(A)
申请公布日期
1994.04.19
申请号
JP19920256087
申请日期
1992.09.25
申请人
NIKON CORP
发明人
NISHI TAKECHIKA
分类号
G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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