| 发明名称 |
METHOD FOR WASHING BOAT-SHAPED PLACING JIG FOR VAPOR DEPOSITION TREATMENT OF METAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06108233(A) |
申请公布日期 |
1994.04.19 |
| 申请号 |
JP19920255992 |
申请日期 |
1992.09.25 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
HATAKEYAMA TETSUO;AKIBA HIROSHI |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/00;H01L21/203;H01L21/285;H01L29/78;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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