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发明名称 MASK FOR SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06108239(A) 申请公布日期 1994.04.19
申请号 JP19920262029 申请日期 1992.09.30
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 UTSUNOMIYA NOBUAKI
分类号 C23C14/04;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
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