发明名称 PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06108272(A) 申请公布日期 1994.04.19
申请号 JP19920262309 申请日期 1992.09.30
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 ARAKI HIRONORI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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