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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06108238(A) 申请公布日期 1994.04.19
申请号 JP19920261776 申请日期 1992.09.30
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 ITOI HIROTO
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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