发明名称 PRODUCTION OF CRYSTALLINE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06107490(A) 申请公布日期 1994.04.19
申请号 JP19920257966 申请日期 1992.09.28
申请人 ROHM CO LTD 发明人 SAMEJIMA KATSUMI
分类号 C01G25/00;C30B1/02;C30B29/32;(IPC1-7):C30B1/02 主分类号 C01G25/00
代理机构 代理人
主权项
地址