| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON DIOXIDE COATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06107408(A) |
申请公布日期 |
1994.04.19 |
| 申请号 |
JP19920257739 |
申请日期 |
1992.09.28 |
| 申请人 |
NIPPON SHEET GLASS CO LTD |
发明人 |
SAKAI YASUTO;HONDA HISAO |
| 分类号 |
C01B33/12;C03C17/25;H01L21/316;(IPC1-7):C01B33/12 |
主分类号 |
C01B33/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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