METHOD AND APPARATUS FOR DRYING SUBSTRATE,申请号JP19920275511-传众专利搜索

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发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR DRYING SUBSTRATE
摘要
申请公布号	JPH06104238(A)	申请公布日期	1994.04.15
申请号	JP19920275511	申请日期	1992.09.18
申请人	NIPPON STEEL CORP	发明人	TAKEUCHI HIDEKI
分类号	F26B3/347;F26B21/14;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	F26B3/347
代理机构		代理人
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