| 发明名称 |
HEATING APPARATUS FOR ION-IMPLANTATION SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06104200(A) |
申请公布日期 |
1994.04.15 |
| 申请号 |
JP19920276577 |
申请日期 |
1992.09.21 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
YAMAZAKI HAJIME |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
