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发明名称 CLEANING APPARATUS OF WAFER
摘要
申请公布号 JPH06104233(A) 申请公布日期 1994.04.15
申请号 JP19920275506 申请日期 1992.09.18
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KOBAYASHI SATOSHI
分类号 B08B3/10;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/10
代理机构 代理人
主权项
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