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发明名称
VARYING METHOD FOR PRESSURE IN CHAMBER AND EQUIPMENT HAVING VARIABLE-PRESSURE CHAMBER
摘要
申请公布号
JPH06104180(A)
申请公布日期
1994.04.15
申请号
JP19920251644
申请日期
1992.09.21
申请人
SONY CORP
发明人
KONISHI MORIKAZU
分类号
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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