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发明名称 POSITIV-FOTORESIST-ZUSAMMENSETZUNGEN.
摘要
申请公布号 AT103084(T) 申请公布日期 1994.04.15
申请号 AT19880111371T 申请日期 1988.07.15
申请人 CIBA-GEIGY AG 发明人 SCHULZ, REINHARD, DR.;MUENZEL, HORST, DR.
分类号 G03F7/022;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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