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发明名称 EINRICHTUNG FUER IONENPROJEKTIONSGERAETE.
摘要
申请公布号 AT104090(T) 申请公布日期 1994.04.15
申请号 AT19870890020T 申请日期 1987.01.30
申请人 IMS IONEN MIKROFABRIKATIONS SYSTEME GESELLSCHAFT M.B.H.;OESTERREICHISCHE INVESTITIONSKREDIT AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 LOESCHNER, HANS, DR.;STENGL, GERHARD, DR.;WOLF, PETER, DR.
分类号 G03F7/20;H01J37/153;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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