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发明名称 LAMP ANNEALING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH06104198(A) 申请公布日期 1994.04.15
申请号 JP19920249667 申请日期 1992.09.18
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 ISHIZAKI KATSUTOSHI
分类号 H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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