发明名称 FORMATION OF HIGH-DIELECTRIC CONSTANT THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06104396(A) 申请公布日期 1994.04.15
申请号 JP19920253041 申请日期 1992.09.22
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OTANI NARIMOTO
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/10 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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