| 发明名称 |
SILICA-COMPONENT CHECKING METHOD OF PURE WATER FOR CLEANING USE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06104232(A) |
申请公布日期 |
1994.04.15 |
| 申请号 |
JP19920275070 |
申请日期 |
1992.09.19 |
| 申请人 |
MITSUMI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SAKAI TSUKASA;OGAWA TAKASHI;HIRANO KEIICHI |
| 分类号 |
G01N31/00;H01L21/304;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
G01N31/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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