| 发明名称 |
WIRING FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06104205(A) |
申请公布日期 |
1994.04.15 |
| 申请号 |
JP19920251088 |
申请日期 |
1992.09.21 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TSUKASAKI TAKASHI;OKAMOTO GORO;YAMANISHI KENICHIRO;TANAKA MASAAKI;HASHIMOTO YOICHI;ITO HIROMOTO;HANAI MASAHIRO;KAJITA NAOYUKI;YOSHIDA TOSHIO |
| 分类号 |
C23C14/30;C23C14/32;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 |
主分类号 |
C23C14/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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