发明名称 VERTICAL THERMAL TREATMENT SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH06104197(A) 申请公布日期 1994.04.15
申请号 JP19920249662 申请日期 1992.09.18
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 ABE TAKESHI
分类号 H01L21/31;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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