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发明名称 DRAWING DATA CONVERSION METHOD
摘要
申请公布号 JPH06104160(A) 申请公布日期 1994.04.15
申请号 JP19920249541 申请日期 1992.09.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 OHORI MASAKO
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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