发明名称 METHOD OF MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 RU1811330(C) 申请公布日期 1994.04.15
申请号 SU19914914971 申请日期 1991.02.27
申请人 NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "ELAS" 发明人 SAMSONENKO B.N.;SOROKIN I.N.;SIGACHEV A.V.;PAUTOV A.P.
分类号 H01L21/335;(IPC1-7):H01L21/335 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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