Substrathaltevorrichtung zur Aufnahme und Bewegung von Substraten mit komplizierter Oberfl{chengestalt,申请号DD19870311413-传众专利搜索

发明名称	Substrathaltevorrichtung zur Aufnahme und Bewegung von Substraten mit komplizierter Oberfl{chengestalt
摘要
申请公布号	DD267263(B5)	申请公布日期	1994.04.14
申请号	DD19870311413	申请日期	1987.12.28
申请人	GESELLSCHAFT FUR FERTIGUNGSTECHNIK UND ENTWICKLUNG SCHMALKALDEN/CHEMNITZ MBH	发明人	EBERSBACH, GERHARD, DR.-ING.;WILBERG, RUEDIGER, DIPL.-ING.;LUEHN, HANS, DIPL.-ING.;THAMM, MICHAEL, DIPL.-ING.;PISKE, KARLHEINZ
分类号	C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/50	主分类号	C23C14/50
代理机构		代理人
主权项
地址