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发明名称 Einrichtung für die Verhinderung von Überschlägen in Vakuum-Zerstäubungsanlagen
摘要
申请公布号 DE4233720(A1) 申请公布日期 1994.04.14
申请号 DE19924233720 申请日期 1992.10.07
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 STUERMER, JOHANN, 6463 FREIGERICHT, DE;LUEBBEHUSEN, MICHAEL, DR., 6454 BRUCHKOEBEL, DE;THORN, GERNOT, DIPL.-ING., 6450 HANAU, DE
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/54;H02M11/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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