发明名称
摘要
申请公布号 JPH0628300(B2) 申请公布日期 1994.04.13
申请号 JP19870200176 申请日期 1987.08.10
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YOSHITAKE KAZUKI
分类号 H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/092;H01L29/784 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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