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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0628238(B2) 申请公布日期 1994.04.13
申请号 JP19870274916 申请日期 1987.10.30
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KAIDO ATSUSHI
分类号 C23C16/44;C30B25/12;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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