| 发明名称 |
ION GENERATION APPARATUS, THIN FILM FORMATION APPARATUS USING THE ION GENERATION APPARATUS, AND ION SOURCE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0283519(B1) |
申请公布日期 |
1994.04.13 |
| 申请号 |
EP19870906208 |
申请日期 |
1987.09.24 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION |
发明人 |
MATSUOKA, MORITO;ONO, KEN'ICHI |
| 分类号 |
H01J27/18;H01J37/32;(IPC1-7):H01J27/18 |
主分类号 |
H01J27/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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