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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0627983(B2)	申请公布日期	1994.04.13
申请号	JP19860123603	申请日期	1986.05.30
申请人	HITACHI LTD	发明人	KOBAYASHI HIDE;KENMOCHI AKIHIRO;MATSUZAKI EIJI;SUNAHARA KAZUO;ORITSUKI RYOJI;KOSHIMO TOSHUKI;NAKATANI MITSUO;YORITOMI YOSHIFUMI
分类号	G02F1/136;G02F1/133;G02F1/1368;G09F9/30;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):G09F9/30;H01L29/784	主分类号	G02F1/136
代理机构		代理人
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