| 摘要 |
Un capteur capacitif (1) comprend une électrode centrale (2), une électrode extérieure (3), un isolateur (4), ainsi qu'une plaque de support (5) sur laquelle est montée la partie électronique (6) afin de mesurer des changements de capacité lorsque le capteur (1) est placé à proximité d'un film (12), ce changement permettant, par un étalonnage adapté, une mesure de l'épaisseur d'un film. De l'air sous pression est alimenté par un orifice d'admission (10) et s'écoule, par l'intermédiaire de la chambre (9), à travers des orifices (8) afin de produire une couche d'air (11) entre le capteur (1) et un film (12). Cet agencement maintient le film (12) et le capteur (1) espacés, de manière qu'aucune détérioration n'est infligée au film (11) ou aux électrodes (2, 3) par contact mutuel, tout en gardant une faible séparation, en empêchant un mouvement relatif en par conséquent des changements indésirables de capacité. L'électrode extérieure (3) peut comprendre des peaux intérieure et extérieure (13, 14) (Figure 2) définissant un passage (15) pour l'air sous pression, de manière que l'air pouvant contenir de l'huile et des polluants aqueux à moins d'être filtré, ne passe pas à travers la chambre (9) et ne vienne pas au contact de la partie électronique (6). |
