发明名称
摘要
申请公布号 JPH0628286(B2) 申请公布日期 1994.04.13
申请号 JP19880202199 申请日期 1988.08.12
申请人 SANYO ELECTRIC CO 发明人 SANTO FUMIO;TOMIZUKA KAZUO
分类号 H01L21/761;H01L21/3205;H01L21/76;H01L21/82;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/320 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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