发明名称 漂移型非晶硅光电阴极
摘要 漂移型非晶硅光电阴极是在基片1上涂复透明导电膜2,在透明导电膜2上沉积n型和p型非晶硅膜,在P型非晶硅膜4上蒸涂铝或银膜,在铝或银膜5上复盖铯氧敏化层。本发明量子效率容易超过扩散型非晶硅光电阻极两个数量级,可用在光电倍增管,象增强管等光电器件中。
申请公布号 CN1024234C 申请公布日期 1994.04.13
申请号 CN90109222.3 申请日期 1990.11.19
申请人 中国科学院电子学研究所 发明人 海宇涵;陈远星;臧宝
分类号 H01J1/34;H01J40/16 主分类号 H01J1/34
代理机构 中国科学院专利事务所 代理人 戎志敏
主权项 1.漂移型非晶硅光电阴极,有基片(1)和铯-氧敏化层(6),其特征是在基片(1)上涂复透明导电膜(2),在透明导电膜上沉积n型和p型非晶硅膜(3)和(4),在P型非晶硅膜(4)上蒸涂铝或银膜(5),在铝或银膜(5)上复盖铯一氧敏化层(6)。
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