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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0628253(B2) 申请公布日期 1994.04.13
申请号 JP19880032930 申请日期 1988.02.17
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 NAKAMURA NOBUO;NAKAGAWA KYOKAZU;KURE TOKUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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