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发明名称 FILM DEPOSITION METHOD
摘要
申请公布号 KR940003098(B1) 申请公布日期 1994.04.13
申请号 KR19900015300 申请日期 1990.09.26
申请人 CANON INC. 发明人 MIKOSHIBA, NOBUO;TSUBOUCHI, KAZUO;MASU, KAZUYA
分类号 C23C16/20;C23C16/452;C23C16/50;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/20 主分类号 C23C16/20
代理机构 代理人
主权项
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