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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THICKNESS OR REFRACTIVE INDEX OF SILICON THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06102019(A) 申请公布日期 1994.04.12
申请号 JP19920273529 申请日期 1992.09.18
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 YAMAGUCHI IKUHIRO
分类号 G01B11/06;G01N21/41;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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