发明名称 MAGNETICALLY COUPLED CARRYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06100164(A) 申请公布日期 1994.04.12
申请号 JP19920228326 申请日期 1992.08.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 KITSUNAI HIROYUKI;TSUMAKI NOBUO;TAKAHASHI NUSHITO;HONMA KAZUO
分类号 B23Q7/08;B65G54/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G54/02 主分类号 B23Q7/08
代理机构 代理人
主权项
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