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发明名称 FORMING METHOD OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06101020(A) 申请公布日期 1994.04.12
申请号 JP19920251093 申请日期 1992.09.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MORI EISAKU
分类号 C23C14/00;C23C14/08;C23C14/22;C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/08 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
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