发明名称 Apparatus and method for measuring the thickness of thin films
摘要
申请公布号 IL107901(D0) 申请公布日期 1994.04.12
申请号 IL19930107901 申请日期 1993.12.06
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G02B 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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