发明名称 NORMAL PRESSURE CVD DEVICE FOR LCD GLASS SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH06101050(A) 申请公布日期 1994.04.12
申请号 JP19910298548 申请日期 1991.10.17
申请人 TOSHIBA MACH CO LTD 发明人 SUGIYAMA HISATAKA
分类号 C03C17/245;C23C16/46;C23C16/54;H01B13/00;(IPC1-7):C23C16/46 主分类号 C03C17/245
代理机构 代理人
主权项
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