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经营范围
发明名称
THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06101035(A)
申请公布日期
1994.04.12
申请号
JP19920254446
申请日期
1992.09.24
申请人
KOBE STEEL LTD
发明人
OKUDA MASAHIKO;SAITO KAZUNARI
分类号
C23C14/34;H05H7/20;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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