| 发明名称 |
VACUUM VESSEL AND SPUTTERING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0699050(A) |
申请公布日期 |
1994.04.12 |
| 申请号 |
JP19920249570 |
申请日期 |
1992.09.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MAKINO AKITAKA;TAMURA NAOYUKI;OGAWA YOSHIFUMI;KOBARI TOSHIAKI |
| 分类号 |
B01J3/00;C23C14/34;(IPC1-7):B01J3/00 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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