| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM OF GOLD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06101046(A) |
申请公布日期 |
1994.04.12 |
| 申请号 |
JP19920274966 |
申请日期 |
1992.09.18 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
UCHIDA HIROTO;SAITOU NORIYASU;SATO MASAMITSU;TAKE MASAYUKI;OGI KATSUMI |
| 分类号 |
C01G7/00;C07F7/08;C23C16/18;C23C16/48;C23C16/50;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/18 |
主分类号 |
C01G7/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
