| 发明名称 |
ATTRACTIVE FORCE DECREASE PREVENTION METHOD FOR ELECTROSTATIC CHUCK AND ITS MECHANISM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0699330(A) |
申请公布日期 |
1994.04.12 |
| 申请号 |
JP19920272509 |
申请日期 |
1992.09.17 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
KUNIOKA TATSUYA;MOROSAWA TETSUO |
| 分类号 |
B23Q3/15;H02N13/00;(IPC1-7):B23Q3/15 |
主分类号 |
B23Q3/15 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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