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发明名称 FORMATION OF SOI STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH0697398(A) 申请公布日期 1994.04.08
申请号 JP19910313700 申请日期 1991.10.31
申请人 SONY CORP 发明人 OCHIAI AKIHIKO
分类号 H01L21/265;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/84;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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