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发明名称 VACUUM PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH0697114(A) 申请公布日期 1994.04.08
申请号 JP19920247636 申请日期 1992.09.17
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TECHNO ENG CO LTD 发明人 KASHIBE MAKOTO;NAKAMURA TSUTOMU
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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