发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0697017(A) 申请公布日期 1994.04.08
申请号 JP19920246367 申请日期 1992.09.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 WATANABE SHUJI;DAIKU HIROSHI;YAMADA KISOU
分类号 H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址